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半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路的類(lèi)型及操作注意一定要搞懂

更新時(shí)間:2021-01-22  |  點(diǎn)擊率:1749
   近年來(lái)半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展快速,而在半導(dǎo)體廠(chǎng)中所使用的制程化學(xué)氣體欲具有向?qū)У奈kU(xiǎn)性,任何疏失都有可能造成人員嚴(yán)重的傷亡與設(shè)備重大的損失,因此采用半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路將這些高危險(xiǎn)氣體安全地輸送到制程機(jī)臺(tái)上使用,將是半導(dǎo)體廠(chǎng)安全中重要的考量因素。
  一般可區(qū)分為大宗氣體和特殊氣體,其中大宗氣體通常是以室外的大型氣站或槽車(chē)供應(yīng)為主;而特殊氣體的部分由于其特性包含易燃性、腐蝕性及毒性等,如果發(fā)生泄露可能釀成災(zāi)禍,因此需要特別注意。
  1、半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路之可燃?xì)怏w:
  在實(shí)驗(yàn)室中,可以提供熱源的氣體一般是:天然氣、煤氣、液化氣等,使用這種燃?xì)庵饕褪怯糜谠嚇尤廴诜纸夂鸵恍┎A髅笾圃?,也能用在煤氣沙浴。它的使用?chǎng)所一般是在試驗(yàn)臺(tái)或者實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)柜中,但是在試驗(yàn)臺(tái)上使用,要保證臺(tái)面耐高溫和設(shè)計(jì)原子吸收或其他排氣裝置,同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃?xì)怏w都具有高危險(xiǎn)性,進(jìn)行氣體管路的設(shè)計(jì)和安裝時(shí)要達(dá)到國(guó)家的要求標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)規(guī)范,非專(zhuān)業(yè)工程師不得隨意改動(dòng)和安裝,以免氣體泄漏,造成事故的發(fā)生。
  2、半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路之高純氣體:
  常規(guī)咱們?cè)趯?shí)驗(yàn)室中接觸到的高純氣體有:氧氣、氮?dú)?、氬氣、空氣、氮?dú)獾?,這些高純氣體等級(jí)有所不同,也意味著他們的純度不同,可根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求或者儀器要求來(lái)先擇適合的純度級(jí)別。它們均存放在高壓氣瓶當(dāng)中,使用時(shí)要進(jìn)行機(jī)械減壓,才能達(dá)到實(shí)驗(yàn)所需的壓力值。像乙炔、乙烷、氫氣等都是易燃易爆氣體,一旦泄露對(duì)人體和環(huán)境有危害,所以對(duì)氣瓶的存放有嚴(yán)格要求,必須有獨(dú)立的存放空間,不得和助燃?xì)怏w混放、遠(yuǎn)離火源等。當(dāng)然在使用任何氣體時(shí),都需要輕拿輕放,因?yàn)闅馄恐袎毫艽螅绻恍⌒目呐?,隨時(shí)都會(huì)造成危險(xiǎn)。投放使用之前檢查好鋼瓶的外觀是否有皮損、嚴(yán)重銹跡、閥門(mén)是否有泄露,出氣口是否有灰塵雜質(zhì),出口頭墊片是否老化,必要時(shí)要做好清理和更換。
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